技术应用
lGASERA ONE CF4分析仪是基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术，结合量子级联激光（QCL）光源，工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了足够的灵敏度以无时延的探测*微小浓度的CF4喷溅或者溢出，同时保证了超高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个月甚至几年，大大减低了总体持有成本。
l运行条件
温度范围：0℃…+49℃
湿度：无凝露
压力范围：750mbar-1050 mbar
防尘/水等级：IP20 (IEC 529)
l储存条件
温度范围：-20 ℃ ~+60 ℃
l样品气体条件
温度范围：0 ~ +49 °C
湿度：无凝露，温度达35°C时**相对湿度80%，温度达49°C时线性下降至35%
压力：750 mbar…1050 mbar
气流：约1L/min
颗粒物< 1 μm
测量参数
l响应时间：取决于用户可定义通道积分时间CIT以及气体冲洗设定。根据平均时间和采样设定从大约15秒到几分钟不等
l监测下限：N2O 2 ppb，CH4 10 ppb
l动态量程：5个数量级（检测下限的100，000倍)
l重复性：运行条件下，校准浓度重复性小于1%
l准确度：校准浓度下好于5%，受限于校准气体准确度
l温度稳定性：在运行温度范围内的环境温度变化不会导致漂移
l压力稳定性：压力范围内的样品压力变化不会导致漂移
可靠的监测
l高灵敏度的GASERA ONE CF4可以在生产环境中快速的探测污染物。另外，直接吸收式的检测因其零背景的性质，可保证长期高稳定性。GASERA ONE CF4可与其他检测仪器，如颗粒物监测仪等，整合在一个机柜里。
优势
l准确、可靠和低维护成本的洁净室污染控制
l快速的响应时间，以捕捉急速上升的浓度
l独立运行系统，内置气体交换泵
l无耗材或者化学试剂
l短光程，单点校准也可达到业内**的动态量程
l直接吸收测量，无漂移
l校准间隔长（可达数年）
l高选择性，不受乙醛和其他VOC的干扰
特点
l高选择性的监测痕量水平的CF4
l检测下限(LoD)低于0.1 ppb
l响应时间可设置，从10秒到几分钟
l动态范围宽，运行稳定
l无耗材
l低样品量（几ml）
l内置气体交换系统
l重新校准间隔长（几个月）
l直观的用户界面
l内置显示屏，可数字式或者图线式显示结果
l可通过局域网远程操作