蒸镀溅射设备

INFOVION公司是韩国专业生产真空蒸镀溅射设备的厂家，其产品精度高、稳定性好，具有高性价比，并成功引入微电子所等中国企业，得到用户的广泛认可。

工艺腔:9个有机分子源，单片玻璃尺寸(100*100mm/0.5~0.7t)，优良的均匀性(≤±3%),可有效控制沉积速率，精确衬底对准销对准，过渡舱模块，机械警真空转移试样:

手套箱:单工位，内含旋转涂膜和UV固化:

控制系统:菜单式操作、数据记录、参数设置，全OLED蒸镀设备OLED蒸镀设备OLED蒸镀设备自动电脑控制，带互锁。