适用于2寸、3寸、4寸、6寸、8寸等多种尺寸晶圆的纯化学抛光
夹具可选择搭配不同重量的配重块，适用于不同材料的抛光工艺需求
抛光后粗糙度变化值ΔRa≤±2nm
夹板、夹具、偏心距等可根据客户需求订制
机身小巧，方便拆装
配备远程操作系统
几乎为零的机械作用力实现无橘皮无划痕效应
采用先进防腐材料和结构设计，达整机超强防腐
纯化学抛光设备CPI
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