氦气管线

可作为高纯氦气的输送载体，是连接氦气压缩机和低温真空泵或低温制冷机的氨气输送管线，也可作为单独的输气管线使用，比如应用于PVD机台和离子注入机台中作为低温泵组系统氦气的输送和分配管路。管线主要采用洁净不锈钢硬管和柔性软管制作，具备较低的氨气泄漏率、较高的洁净度、方便拆卸的快速连接接头，接头具备自密封功能，保证氦气纯度和密封压力。