低温真空泵

低温真空泵(又称冷泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的超高真空获得设备。低温真空泵广泛应用于半导体、集成电路、光学镀膜、太阳能电池板、平板显示器、光电子器件和真空电子器件的制造工艺过程，是集成电路制造工艺设备PVD、离子注入的关键零部件之一。低温真空泵也用于各种空间环境模拟、高能物理、加速器、真空校准检测等真空应用设备中。