一 设备简介：
BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑轨式CVD系统。该设备主要分为五大部分：加热系统，真空系统，气体控制供给系统，自动控制移动系统，控制软件系统组成。炉膛为440mm温区炉膛，配K型热电偶，单点控温；加热炉置于滑轨上，可手动在规定的范围内任意滑动到想要的位置并用限位器固定住；气路系统采用4路流量计控制，经由不锈钢混气罐混合，再进入左端进气法兰；左端法兰端盖上预留1路进气口，内部有不锈钢导气管，可将气体导入加热区位置。该设备适用于高校研究所以及研发型企业使用。
二 设备参数：
额定功率：3KW（加热炉膛）
额定电压：AC 220V 50/60HZ
最高温度：1200℃
持续工作温度：≤1100℃
推荐升温速率：≤10℃/min
炉管尺寸：高纯石英管 Φ100*1650mm
加热区长度：440mm
热电偶类型：K型热电偶
控温精度：±1℃
控温方式：10寸触液晶屏触摸控制，模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
炉体尺寸： 220*750*1450mm（长*宽*高）
加热元件： 电阻丝
设备净重：约300Kg
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