小型RTP快速升温管式炉
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真空淬火炉 BTF-1100C-H
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小型滑轨式PECVD系统
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多工位真空管式炉 （BTF-1100C-S）
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快速升温淬火炉
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1500℃真空高温管式炉
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单温区立式搅拌炉
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1400℃智能型真空高温管式炉
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1600℃多源高温CVD系统
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PECVD系统
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智能型CVD系统
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管式摇摆炉
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卷对卷连续走丝CVD沉积系统
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900℃迷你管式炉
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1200℃磁力拉杆管式炉
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智能型连续进出料CVD设备
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