一、结构简介
1、该款CVD设备配备加热系统、进料系统、出料系统、触摸屏控制系统、气路系统、真空系统、平台升降装置等；
2、设备炉管可360°旋转，有助于粉料的烧结更均匀，可大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0-25°之间；
3、真空系统由一个PCG550真空计和一台DRV-16机械泵组成，右端法兰上配有压力保护装置和一个截止阀控制的进气口；
4、右端作为进料端，配有进料罐和送料机构作为进料使用；
5、左端法兰上配有PCG550真空计和一个球阀控制的出气口以及一个KF25真空接口；
6、左端作为出料端，配有出料系统和收料罐。
二、技术参数
供电电源 | AC 220V，频率50HZ，功率4KW |
工作温度 | **温度：1200℃，使用温度：800℃ |
升温速度：0-20℃/min，建议10℃/min | |
加热长度 | 加热区长度440mm |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
热电偶 | K型热电偶 |
温控系统 | 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
炉管尺寸 | 异型管⌀60x100x1200mm（一根） |
炉体倾斜角度 | 0-25°可调 |
炉管旋转速率 | 0.25-25r/min |