一、设备组成
这是一款组合管式CVD设备。该设备主要由多路供气系统、三温区加热炉、低真空系统、以及智能控压组件组成。
1、开启式加热炉：
三温区加热炉使用轻质氧化铝纤维材质，K型热电偶测温搭配优质电阻丝为加热原件，内部温场均匀。
2、多路供气系统
质量流量计可按照程序设定，对多路气体进行单独或者混合。操作方便，控制精确。
3、智能控压组件
通过真空计实时监测管内压力，PLC根据设定压力大小调节阀开启大小，以控制管内压力稳定。
4、低真空系统
配备进口机械泵，进口真空计，质量可靠。
二、技术参数
**温度 | 1200℃ |
持续工作温度 | ≤1100℃ |
升温速率 | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
热电偶 | K型 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
加热总功率 | ≤8KW |
加热区尺寸 | 300+300+300mm |
设备主体尺寸（长*宽*高） | 2000*700*1300mm |
设备重量 | 约150KG |