一、设备组成
这是一款智能型PECVD系统。该设备主要分为四大部分：多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统。
1、开启式加热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，6点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管。
2、气路系统
可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比，另外单独1路过鼓泡器后进入反应管内。
3、射频组件
1000W高性能射频辉光均匀，可使整个反应腔体都处于辉光产生区。
4、 智能控制系统
采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。
二、技术参数
**温度 | 1200℃ |
持续工作温度 | ≤1100℃ |
升温速率 | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
热电偶 | K型 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能，人机界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪和软件实现双控 |
加热总功率 | ≤15KW |
加热区尺寸 | 300+300+300mm |
射频功率 | 1000W |
设备尺寸 | 2550*850*1600mm |
设备重量 | 约600KG |