一、设备简介
BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑轨式CVD系统。该设备主要分为五大部分：加热系统，真空系统，气体控制供给系统，自动控制移动系统，控制软件系统组成。炉膛为440mm温区炉膛，配K型热电偶，单点控温；加热炉置于滑轨上，可手动在规定的范围内任意滑动到想要的位置并用限位器固定住；气路系统采用4路流量计控制，经由不锈钢混气罐混合，再进入左端进气法兰；左端法兰端盖上预留1路进气口，内部有不锈钢导气管，可将气体导入加热区位置。该设备适用于高校研究所以及研发型企业使用。
二、技术参数
额定功率 | 3KW(加热炉膛) |
额定电压 | 220V 50/60Hz |
**温度 | 1200℃ |
持续工作温度 | ≤1100℃ |
推荐升温速率 | ≤10℃/min |
加热区长度 | 440mm |
热电偶 | K型热电偶 |
控温方式 | 10寸触液晶屏触摸控制，模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
炉体尺寸 | 220*750*1450mm（长*宽*高） |
设备净重 | 300KG |
炉管尺寸 | 高纯石英管Φ100*1650mm |