一、设备组成
这是一款智能型大口径高真空退火炉。该设备主要分为三大部分：大口径加热炉、分体式高真空机组、真空冷井。
1、大口径加热炉：
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，三个加热温区分别进行单点控温；设备升降温控制灵活、恒温区长，控温准确。
2、真空冷井
真空隔层冷井，易拆、易清理可接低温冷凝水对气体进行冷却处理
3、高真空机组
集成结构高真空机组，配进口前级泵和分子泵，真空度高。带1路质量流量计可做氮气破空。
二、技术参数
**温度 | 1100℃ |
持续工作温度 | ≤1000℃ |
升温速率 | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
热电偶 | K型 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
加热总功率 | ≤15KW |
加热区尺寸 | 300+300+300mm |
设备尺寸 | 1800*1100*1400mm（设备主体） 800*800*1500mm（高真空机组） |
设备重量 | 约500KG |