一、主要特点
我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象
该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0~35°可调。
此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。
二、技术参数
加热炉 | |
使用温度 | ≤1200℃ |
加热区长度 | 440mm |
恒温区长度 | 200mm |
加热元件 | 电阻丝（掺钼铁铬铝合金） |
控温精度 | ±1℃ |
控温方式 | 7"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
炉管尺寸 | Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm |
炉管转速 | 3~13r/min |
倾斜角度 | 0~35° |
PE源 | |
信号频率 | 13.56MHz±0.005% |
功率输出范围 | 0-500W |
射频输出接口 | 50Ω，N-type，female |
功率稳定性 | ≤5W |
气路系统 | |
供气系统 | 高精度质量流量计（量程可选） |
准确度 | ±1.5% |
响应精度 | ±0.2% |
响应时间 | 气特性：1~4sec，电特性：10sec |
工作压差范围 | 0.1~0.5MPa |
压力 | ≤3MPa |
连接头类型 | Φ6mm双卡套不锈钢接头 |
真空系统 | |
真空系统 | 采用KF25系列波纹管和手动挡板阀 |
真空度可达10-1Pa | |
数显真空测试仪可直观的显示数值 | |