主要特点
前端配有可加热到400℃的预加热器，辅助硫粉蒸发，后端为双温区硫化炉，温度控制精确，操作简便。并配有气氛微调装置，可以准确的反应腔体内部的气体压力，带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用，重复性好。
技术参数
硫粉预热器
| 型号：BTF-400C 工作温度：350℃ **温度：400℃ *快升温速率：30℃/min 推荐升温速率：10℃/min 控温方式：智能化30段可编程控制 工作电压：AC220 V 额定功率：800W 控温精度：±1℃ 加热元件：电阻丝 |
硫化炉 | 技术参数 额定功率(KW)：3 额定电压(V)：AC220v 50/60 Hz **温度(℃)：1200（1 hour） 持续工作温度(℃）：1100 升温速率（℃/min）：≤50 炉管尺寸（mm）：高纯石英管Φ50×1200mm 加热区长度（mm）：440mm 恒温区长度（mm）：200mm 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 控温精度(℃)：±1 加热元件：电阻丝 |
供气系统GMF-3Z
| （质子流量计） 重量：35Kg 外形尺寸：600x600x650mm 连接头类型：双卡套不锈钢接头。 标准量程（N2)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根据用户要求定制） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa **压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 工作环境温度：5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 |
低真空机组VAU-02
| 空气相对湿度≤85%， 工作电电压：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽气速率：4L\s 极限真空：4X10-2Pa 实验真空度：1.0X10-1Pa 容油量：1.1L 进气口口径：KF25 排气口口径：KF25 转速：1450rpm 噪音：50dB 外型尺寸：600×600×600mm |