一、设备简介
BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑轨CVD系统。本设备集真空系统、供气流量系统、自动推进、加热于一体，并将所有控制集成于触屏操控界面之中，使设备更加智能化，便于使用者操作。温度范围宽：100-1200度可调，加热区域长度：1650mm。适用范围宽:金属薄膜，陶瓷薄膜等，复合薄膜，连续生长各种薄膜等。
二、技术参数
功率 | 3KW |
额定电压 | AC 220V 50/60HZ |
**温度 | 1200℃ |
工作温度 | 1100℃ |
推荐升温速率 | 10℃/min |
空开大小（自备） | 2P 40A |
炉管尺寸 | 高纯石英管Φ100*1400mm |
**滑动距离 | 880mm |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制 |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
热电偶 | K型 |
质量流量计 | 两路500sccm+5000sccm |
机械泵 | 10m3/h |
设备净重 | 约230Kg |