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也称为溅射离子泵或离子吸气泵，是使用阳极/阴极阵列来电离气体的捕集泵。离子溅射反应性阴极材料，产生化学反应，将电离气体转化为固体化合物。这些化合物不再对真空系统的压力产生影响，并被**地封存在离子泵内。离子泵可以在 10-5 至 10-12 mbar 的范围内运行，氮气抽取速度范围为 0.2 至 1200 l/s。