|
|||||||||||||||||||||
详细说明
型号:
EVG 850LT SOI晶圆键合系统
范围:
机械行业
应用行业:
各种行业
EVG 850LT是一款专门用于SOI晶圆的全自动键合系统,相比EVG850增加了低温等离子体激活模块,提高键合质量。
点赞 0举报收藏 0
