PECVD石墨舟

产品描述

• 石墨舟核心技术

· 二次纯化工艺，直接提高材料的纯度，长周期工况条件下，石墨舟各点电阻率仍保持优异的均匀一致性，保证电流均匀，降低镀膜色差，同时有效减缓石墨舟的氧化，提高寿命。

· 舟叶表面C-coating涂层工艺，舟页表面平面度、光洁度更好，使舟页和硅片之间接触面积更大，饱和以后使用次数增加，舟使用寿命延长。

· Balance加工工艺，**限度消除石墨舟片内应力，长周期使用后不易变形，有效减少热延展80%以上。

• 石墨舟核心指标