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详细说明
型号:
全碳化硅部件 (Solid sic、烧结碳化硅)
范围:
无
应用行业:
重型耐压,适用于农业及其他工业中,进行液体喷洒。
产品特点
纯度高,金属杂质含量<2ppm
>材料致密,无针孔、微裂纹缺陷
适用于半导体光刻、氧化扩散、刻蚀等多种设备
制备工艺根据产品需求定制
稳定性好,使用寿命长
应用领域
>半导体芯片制造
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