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详细说明
型号:
GaN外延设备石墨部件
产品特点
涂层厚度均匀,极差<10um
金属杂质含量<2ppm
涂层致密,无针孔,耐刻蚀,寿命长
>行星盘一致性好,均温性好,盘间温差<2C
应用领域
>GaN功率器件
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产品特点
涂层厚度均匀,极差<10um
金属杂质含量<2ppm
涂层致密,无针孔,耐刻蚀,寿命长
>行星盘一致性好,均温性好,盘间温差<2C
应用领域
>GaN功率器件