残余气体分析仪

仪器简介：

先锋公司代理美国SRS公司的RGA100残余气体分析仪是一种可用于在线监测的真空设备，主要用来检测真空腔中的气体成分和气体浓度。其残余气体分析仪可以达到百万量级的动态范围，优于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探测极限，带有分析软件和RS232接口。优异的性能，超高的性价比，完全满足您真空方面的科研实验。

技术参数：

RGA残余气体分析仪主要参数如下：

• 100， 200 and 300 amu systems

• Better than 1 amu resolution

• 6 decades of dynamic range

• 5 × 10−14 Torr detection limit

• RGA Windows & LabVIEW software

• Field-replaceable electron multiplier and filament

• RS-232 interface

主要特点：

在真空腔内RGA离子分化器将气体分子电离，电离后的带电粒子进入四极杆产生的偏转电场内，由于不同的粒子质量数不一样，在一定的电场作用下所形成的偏转半径就不一样。相当于我们在四极杆上加特定的电场就会有特定质量数的离子打到探测器阳极上，探测器所产生的电流正比于气体分子的浓度。进一步改变电场，就可以检测到不同质量数离子的浓度。之后我们再做电场扫描，就可以计算出真空腔中所含气体的成分。