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详细说明
型号:
喷淋头
范围:
500ppm
喷淋头,被广泛应用半导体集成电路制造过程中的PVD、CVD、PECVD、刻蚀等工艺流程中,是各类气体分配过程中的关键零部件。
产品具有高精度、高清洁度、多重-复合表面处理(如喷砂/阳极氧化/刷镀镍/电解抛光等集一体)等特征。
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喷淋头,被广泛应用半导体集成电路制造过程中的PVD、CVD、PECVD、刻蚀等工艺流程中,是各类气体分配过程中的关键零部件。
产品具有高精度、高清洁度、多重-复合表面处理(如喷砂/阳极氧化/刷镀镍/电解抛光等集一体)等特征。