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详细说明
型号:
EVG 805解键合系统
产品简介:
EVG 805是一款半自动解键合设备,支持热解、机械解或胶带剥离。
主要特点及参数:
·**可适用于12寸(300mm)晶圆
·*多可配置1个解键合模组
·可处理薄片
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产品简介:
EVG 805是一款半自动解键合设备,支持热解、机械解或胶带剥离。
主要特点及参数:
·**可适用于12寸(300mm)晶圆
·*多可配置1个解键合模组
·可处理薄片