晶圆边形轮廓仪

晶圆轮廓仪WEP-150EN/200EN/300EN系列可以非接触自动测定2"- 6"、4"- 8"、8"- 12"晶圆的边缘倒角形状以及切口面倒角形状的尺寸。选配自动上下料单元还可以实现全自动测量。

• 适用于2” 到  12”晶圆 

• 适合于各种材质的晶圆

• 可测晶圆边缘倒角形状 

• 可测晶圆切口面倒角形状 

• 非接触测量，无污染，无损伤

• 可自动存储测量结果 

• 操作界面友好，使用方便 

• 针对晶圆测量设计，专业化水平高