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详细说明
型号:
悬臂桨
范围:
无
应用行业:
适用行业燃气轮机及进气过滤,可配备诺迪克(Nordic)的高品质滤料系列中的任意一种,以适应世界各地的所有操作环境的需求。
反应烧结碳化硅悬臂奖,是半导体晶圆装载系统的关键部位。悬臂桨性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载量大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂奖截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。
悬臂桨与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD极大地延长了维护清洗周期,并大幅减少污染物。
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