源瓶

　源瓶(起泡器)用于固态、液态及气态超纯物料类的封装，涉及微正压、常压、中低压的危险化学品，所以对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要求。

　　源瓶特点：

　　1、所有管件采用316L不锈钢，内部经400目机械抛光和电化学抛光，Ra≦0.25微米;

　　2、阀门有美国世伟洛克球阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀和韩国TK隔膜阀供选择;

　　3、密封垫片选用纯银镀镍垫片;

　　4、氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;

　　5、可盛装化学品纯度≧99.9995;

　　6、总残余元素量≦50PPb;

　　7、坠落试验，通过国家商检部门检测;

　　8、介质，TMGTEGTMATMINDEE等;

　　9、可选择气动阀门或者实现在注入端子、输出端子以及接口之间的交叉清扫处理等;

　　10、可提供非标定做。