闭管软着陆扩散炉

闭管软着陆扩散系统采用闭管扩散的方式。碳化硅浆把石英舟放入石英管后再退出石英管,保证整个工艺过程完全不受外界环境干扰,工艺性能优异。

控制系统特点

◎ 软着陆装置采用伺服控制,性能平稳可靠、定位准确、承重量大。

◎ 管内压力采用闭环控制,压强稳定。

◎ 工艺废气冷却回收，保证工艺管道清洁。

◎ 高精度温度控制技术，系统可自动拉温区。

★支持SECS/GEM通讯

主要技术指标

Key technical parameters

◎ 工作温度:600℃-1286℃

◎ 恒温区长度:300~1500mm

◎ 温区精度:±0.5℃

◎ **可控升温速率:15℃/min

◎ **可控降温速率:5℃/min

◎ 装片数量:400片管(特大产能)

晶圆工艺指标

◎ 片内均匀性:<2%

◎ 片间均匀性: <2%◎ 批间均匀性: <2%

◎ 2管、3管、4管分别可选;自动装载机械手可选。

★设备产能、性能、工艺指标优于同类进口设备