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JD-1200全自动软轴单晶炉，是软轴提拉型单晶炉，是在惰性气体环境中，以石墨电阻加热器，将一定纯度的硅材料熔化，用直拉法生长无位错单晶的设备，它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶。该设备**可使用28英寸的热系统，**熔料370kg，拉制10英寸或以下的单晶。由于投料量的增大，产能比JD-1100炉型提高20%以上，是JD-1100型单晶炉的姊妹机型，除具有JD-1100型单晶炉的特性外，从外观设计、维护维修便利性、自动化程度和各项性能指标等方面，均有很大幅度的提升。
1 | 型号 | JD-1200 |
2 | 名称 | 单晶硅炉 |
3 | 电源电压 | 380V |
4 | 电源频率 | 50Hz |
5 | 加热方式、加热组件 | 电阻加热、石墨加热器 |
6 | 主加热器**功率 | 165KW |
7 | 主加热器**加热电压/电流 | 55V/3000A |
8 | 辅加热器**功率 | 60KW |
9 | 辅加热器**加热电压/电流 | 50V/1200A |
10 | 整机功率 | ≤240KW |
11 | 炉内**温度 | 1600℃ |
12 | 冷态炉内极限真空度 | ﹤3Pa |
13 | 生长晶体的直径范围 | ≦10″ |
14 | 熔料重量 | Max 370kg |
15 | 原料 | 多晶硅原料 |
16 | 主炉室尺寸 | Ф1200×1400mm |
17 | 旋转阀通径 | ¢360 |
18 | 副室+操作室尺寸 | ¢360×4600mm |
19 | 籽晶拉速范围 | 0.1～10mm/min |
20 | 籽晶快速 | ≥500mm/min |
21 | 籽晶转速范围 | 2-30rmp |
22 | 坩埚升速范围 | 0.02～1mm/min |
23 | 坩埚转速范围 | 1-30rpm |
24 | 籽晶在副室内有效行程 | ≥4000mm |
25 | 主机总高 | 10242mm |
26 | 主机占地面积 | 2518mm×1700mm |
27 | 整机占地面积 | 5500mm×6500mm |
28 | 进水量的要求（压力） | **0.40Mpa 压差0.2Mpa |
29 | 冷却水用量/台 | >25 m3/h |
30 | 冷却水进水温度 | 25-28℃ |
31 | 氩气用量/台 | 0.3Mpa~0.7Mpa≈110L/min |
