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详细说明
型号：
高温氧化炉 HT-RTP-4000
产品型号：
HT-RTP-4000
产品介绍：
1. Cold Wall type SiC Oxidation furnace
2. Max substrate size :100mm
3. Max process temperature : 1400C
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产品型号：
HT-RTP-4000
产品介绍：
1. Cold Wall type SiC Oxidation furnace
2. Max substrate size :100mm
3. Max process temperature : 1400C
