工作区尺寸mm

300×300×600

400×400×800

600×600×1000

装炉重量Kg

80

200

500

**温度°C

1350

1350

1350

使用温度°C

1150

1150

1150

温度均匀性°C

±5

±5

±5

装机容量KVA

100

150

200

极限真空度Pa

0.7、0.003

0.7、0.003

0.7、0.003

压升率Pa/h

0.67

0.67

0.67

工业气氛

Ar/N2/H2

Ar/N2/H2

Ar/N2/H2

气体压力bar

2

2

2