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详细说明
型号:
HVPE氢化物气相外延炉
简介 : 1.高生长速率、低缺陷密度。 2.横向纵向生长比率高、孔洞少,可以生长大面积厚膜。 3.单晶生长速率:≥100微米/小时。 4.产品尺寸:2/4/6英寸。
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简介 : 1.高生长速率、低缺陷密度。 2.横向纵向生长比率高、孔洞少,可以生长大面积厚膜。 3.单晶生长速率:≥100微米/小时。 4.产品尺寸:2/4/6英寸。