JQ-900型区熔单晶体长炉_矿山设备_产品

JQ-900型区熔单晶生长炉是集机、光、电一体化的大型高可靠性、高精度、高自动化的单晶生长设备，整机性能指标达到同类产品国际**。主要生产6-8英寸大规格区熔单晶硅，单晶长度**可达2500mm, 单晶纯度可达99.99999999%,，其晶片主要用于IGBT芯片、可控硅、红外探测器以及航天航海等尖端科技领域，另外凭其23%的光电转换效率，我们还可以大胆偿试将其用在光伏发电领域。

1.	主炉室	内炉堂直径[mm]	Φ902X1190高
2	上副室	炉膛直径[mm]	Φ500 X1800高
3	下副室	炉膛直径[mm]	Φ500 X2500高
4	上传动	行程[mm]	2000
		主轴转速[rpm]	0-30±1%
		主轴直径[mm]	100
5	下传动	主轴行程[mm]	2600
		主轴转速[rpm]	0-30±1%
		主轴直径[mm]	100
		内轴行程[mm]	340
6	平动组件	行程[mm]	±25
7	槽路组件	行程[mm]	530
8	反射环	行程[mm]	50
8	反射环	快速移动速度[mm/min]	20
9	预热环组件	行程[mm]	285
9	预热环组件	快速移动速度[mm/min]	100
10	制备外形	长X宽X高[mm]	6600X4200X14000
11	真空系统	真空度(mbar)	≤0.01
12	气路系统	进气压力[Ba]	5-12（推荐10）
		生长气流量[L/min]	50
		气体质量	C57-0305，等级4.8
13	冷却系统	进水压力[Ba]	4-6
		进水温度[°C]	12-25
		进水流量[L/min]	200
		物理清洁度[mm]	0.38
14	电器	电源频率[Hz]	50或60
		电压[VAc]	3X380
		发生器输出功率(kW)	120KW
		控制电源(Hz)	50或60
		电压[VAc]	3X380
		功率	10KW
		进电电源整流滤波	有
		控制系统	西门子S7-300
		人机界面控制	Pro-face触摸屏
		CCD监控系统	基恩士
		上下传动移动驱动	Lenze驱动

JQ-900型区熔单晶体长炉

北京京运通科技股份有限公司