立式炉

1

晶圆尺寸

8英寸

2

**温度

1100℃（石英）

  1250℃（碳化硅）

3

控温精度

≤±0.5℃

4

温度均匀性

≤±1℃

5

升温速率

0-10℃/min

6

**装载量

170片

7

有效工作区域

Φ230mm×780mm

8

温区数量

5

9

气路数量

4

10

片内均匀性（WIW）

≤2%

11

片间均匀性（WTW）

≤2%

12

批间均匀性（RTR）

≤2%

13

新增颗粒

≤50（≥0.16μm）

≤30（≥0.2μm）

14

金属污染

<5E10 atms/cm²