产品详情
1、相较现有立式外延炉有更低的硬件成本,更小的占地面积;
2、兼容4/6寸晶圆外延生长,成膜质量好,可实现厚外延层快速生长；
3、更长的维护周期,更低的耗材成本；
主营： 半导体行业专用仪器 粉体焙烧炉 清洗/消毒设备
