管式真空炉

设备特点

●外形美观，占地面积小

●采用高精度、多功能温控仪，可自动调节与修改PID参数，存储控温曲线并可随时修改、删除以及重新设定，操作简单方便

●具备多项故障显示，报警及连锁保护功能

●炉体可以移动推拉,以加速低温段的降温

技术指标

●适用工艺片尺寸：2~8英寸圆片或方片

●常用工作温度：400～1000℃

●恒温区长度及精度：≤±0.5℃/400~800mm   （600～1000℃）；

　　　　　　　　　　≤±1℃/400~800mm   （300～600℃）

●**升温速率: 10℃/min 

●极限真空度：≤5×10-3Pa；

●气路系统：氧气、氮气、氩气;

应用范围

　　用于陶瓷电路、传感器烧结及退火处理、永磁合金制造、真空钎焊、真空除气、金属材料的无氧化光亮热处理等工艺。