PHYS TECH GmbH RH2035 霍尔效应测试仪器
| 1. | 设备名称： | 霍尔效应测试仪 |
| 2. | 功能描述： | 测量半导体薄膜中载流子类型、载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数 |
| 3. | 技术参数： |
| 3-1 | 测试范围： | Si， SiGe， SiC， GaAs， InGaAs， InP， GaN (N Type & P Type)等材质的半导体薄膜中载流子类型、载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数 |
| 3-2 | 磁场： |
| 3-2-1 | 磁场强度： | 0.45T 永磁体 |
| 3-2-2 | 磁场类型： | 永磁体 |
3-2-3 | 磁场均匀性： | 磁场不均匀性＜±1 % 10年内磁场变化＜±0.2%
| 3-3 | 温 度： |
| 3-3-1 | 温度区域： | 77K(液氮温度)或室温 |
| 3-4 | 电阻率范围： | 1 µ Ohm*cm ~10 M Ohm*cm |
| 3-5 | 电阻范围： | 0.1 m Ohms ~10 G Ohms |
| 3-6 | 载流子浓度： | 107~1021cm-3 |
| 3-7 | 迁移率： | 10-2~107 cm2/volt*sec |
| 3-8 | 输入电流： |
| 3-8-1 | 电流范围： | 1000 pA~10mA |
| 3-8-2 | 电流解析度： | 2.5 pA (lowest range) |
| 3-8-3 | 电流精度： | 2% |
| 3-9 | 输入电压： |
| 3-9-1 | 电压范围： | ±10V |
| 3-9-2 | 电压分辨率： | 1μV |
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| 4. | 仪器特点： |
4-1 | Automatic contact check 自动接触检查(欧姆接触)
4-2 | Routine and enhanced software 常规和增强软件
4-3 | Differential resistivity measurements by I/V-curves I/V曲线测试电阻率差异
4-4 | Misalignment voltage compensation 失调电压补偿
4-5 | Correction of slow sample drift voltage， especially for ZnO， 修正慢样品漂移电压，特别是氧化锌
4-6 | Automatic field calibration 自动现场标定
4-7 | Large concentration and resistivity range 大浓度和电阻率范围
4-8 | Flexible， modular hardware 灵活的模块化硬件
4-9 | Support of various magnets， for example BioRad HL 5200 支持多样磁场
4-10 | Support of various temperature controllers 支持各种温度控制器(支持客户自行升级变温系统)
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| 5 | 硬件 |
5-1 | The standard system consists of a bench top electronic system， a small magnet and a sample stage for room temperature and LN2 measurements. 标准系统包含电子测试系统、磁场和两个温度区域的测试平台（室温和液氮温度）
5-2 | The electronics include the current source， the voltage measurement part， the contact switching module and the IEEE or RS232 interface. It is completely micro processor controlled. 电子测试系统包括由单片机控制的电流源、电压测试、接触开关模块、IEEE或RS232接口
5-3 | The contact switching module is designed to allow all possible measurement configurations. 接触开关模块支持所有用户用于其他的配置(用户可以采用制冷机做变温霍尔测试)
5-4 | The current source has adjustable limits for voltage and/or power. {+++} 电流源具有可调电压和/或电源的限制
5-5 | Voltage measurement provides different input amplifiers optimized for either low current or low voltage applications. 电压测量提供了不同的输入放大器或低电流或低电压应用的优化。
