低压 磷扩散炉

硬件规格

◆恒温区长度:2800mm

◆温区数量:6个温区

◆**温度:1050℃

◆温度均匀性:800℃~1050℃±0.5℃

◆晶圆装载法:软着陆

◆桨的**承重量:70kg

◆工艺腔和舟的材质:石英管

主要特点

◆产能:1400~1680pcs/管

◆管数:6管

◆压力控制:APC控制方式

◆系统控制:PLC和PC工控机

◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案

工艺规范

◆方阻值:50~350Ω/cmsg

◆极限真空:≤20mbar

◆方阻均匀性:<5%(片内/片间/批间)

优势

◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产

◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力

◆方形插片软着陆工艺，均匀性好，技术方案成熟稳定

◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务,确保设备长期稳定使用

硬件规格

◆恒温区长度:2800mm

◆温区数量:6个温区

◆**温度:1050℃

◆温度均匀性:800℃~1050℃±0.5℃

◆晶圆装载法:软着陆

◆桨的**承重量:70kg

◆工艺腔和舟的材质:石英管

主要特点

◆产能:1400~1680pcs/管

◆管数:6管

◆压力控制:APC控制方式

◆系统控制:PLC和PC工控机

◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案

工艺规范

◆方阻值:50~350Ω/cmsg

◆极限真空:≤20mbar

◆方阻均匀性:<5%(片内/片间/批间)

优势

◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产

◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力

◆方形插片软着陆工艺，均匀性好，技术方案成熟稳定

◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务,确保设备长期稳定使用