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详细说明
型号:
SiC高温氧化炉
范围:
广泛
应用行业:
广泛
专用于SiC晶圆的高温氧化工艺,可实现晶圆片高温真空环境下完成氧化工艺。
可使用O2,N2O,NO,NO2或湿法氧化,采用无金属加热和真空装备。
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