SiC高温氧化炉

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发货 山东省济南市槐荫区
品牌 山东力冠
过期 长期有效
更新 2025-11-15 10:54
 
详细说明
型号: SiC高温氧化炉
范围: 广泛
应用行业: 广泛

专用于SiC晶圆的高温氧化工艺,可实现晶圆片高温真空环境下完成氧化工艺。

可使用O2,N2O,NO,NO2或湿法氧化,采用无金属加热和真空装备。

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