感应式碳化硅烧结炉

用途：主要用于碳化硅重结晶烧结

主要技术性能和指标 

●**使用温度：2450℃    

●常用温度：2400℃ 

●加热方式：感应加热

●炉内工作气份：氮气 氩气

●温度均匀度：≤±10℃

●控温精度：±1℃

●温度测量：WRe5/26热电偶（0-1700℃）+美国RATEK双比色红外测温仪（1000-3200℃）；美国RATEK单色红外测温仪（300-1100℃）+美国RATEK双比色红外测温仪（1000-3200℃）