化学气相沉积炉

用途：可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理.

特点：

●采用先进的控制技术，能精密控制气体的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

●采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

●采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

●对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；

●采用防腐蚀真空机组设计，持续工作时间长，维修率低。

沉积炉主要配置

●炉门：丝杠升降//液压升降/；手动锁紧/自动锁圈锁紧

●炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

●炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡

●加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

●工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产

●真空泵和真空计---进口/国产

●人机界面：触摸屏/工控机

●电器元件：正泰/施耐德/西门子