PECVD管式炉

产品摘要

该设备是由滑动开启式真空管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成。烧结温度可达到1200°，通过滑动炉体来实现快速升降温，可以通过配置不同的真空系统来达到理想的真空度，同时可以通过多路高精度质量流量计来控制不同的气体。

产品介绍

★炉体结构：日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好，支撑两端安装油压缓冲器炉盖可开启，可以实时观察加热的物料

★电源：AC220V,50/60HZ 功率:4KW

★炉管：高纯石英管尺寸：φ 40/60/80/100*1200mm

★加热系统：加热区长度440MM 恒温区长度200mm 工作温度≤1150° **温度1200° 升温速率10°/min

★温控系统：温度控制采用人工智能调节技术具有PID调节，自整定功能30段升降温程序

★混气系统：多路质量流量计数字显示气体流量自动控制。流量规格：0-1SLM 流量精度±1.5％

★真空度：真空度可达（5E﹣01）torr

★可选配件：混气系统中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件，氧含量分析仪等