|
|||||||||||||||||||||
详细说明
型号：
SCMP/LP系列TSSG法碳化硅单晶炉
◆ 设备采用TSSG法长晶，可获得更高质量的晶体；
◆ 配备CCD晶体直径监测系统、厚度监测系统，实时监测晶体生长状态以提升长晶效率；
◆ 配合扩径工艺，可实现大尺寸碳化硅单晶生长，同时可获得高载流子浓度的P型碳化硅单晶。
点赞 0举报收藏 0
|
|||||||||||||||||||||
◆ 设备采用TSSG法长晶，可获得更高质量的晶体；
◆ 配备CCD晶体直径监测系统、厚度监测系统，实时监测晶体生长状态以提升长晶效率；
◆ 配合扩径工艺，可实现大尺寸碳化硅单晶生长，同时可获得高载流子浓度的P型碳化硅单晶。
