产品性能：
2~12寸晶圆工艺，5~25片/批
占地面积小，水平多管/垂直单管
200～1300℃/1400℃/2200℃（高温）
主营： 真空炉 粉体焙烧炉 箱式炉 气体发生器/气体处理 半导体行业专用仪器 石墨烯
