|
|||||||||||||||||||||
详细说明
型号：
JSSD系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
◆ 设备采用模块化结构设计，可方便切换晶体生长尺寸和石英腔室冷却方式；
◆ 全金属密封结构可以降低漏率；
◆ 旋转液动力的冷却方式提升了冷却均匀性；
◆ 高精度控温控压及远程监控技术进一步提升了设备自动化程度。
点赞 0举报收藏 0
|
|||||||||||||||||||||
◆ 设备采用模块化结构设计，可方便切换晶体生长尺寸和石英腔室冷却方式；
◆ 全金属密封结构可以降低漏率；
◆ 旋转液动力的冷却方式提升了冷却均匀性；
◆ 高精度控温控压及远程监控技术进一步提升了设备自动化程度。
