高温真空退火CVD系统 BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210

一、产品特色

1、开启式加热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，上下独立8点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。

2、开启式预热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，上下独立4点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。

3、气路系统可精确控制多路气体按不同流量进行混合配比，同时可同PLC进行联动控制。

4、反应管组件

反应管组件使用石英管，两端带水冷法兰组件快开卡箍，方便拆装维护清理。

5、智能控制系统

采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。

二、技术参数