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详细说明
型号：
自动回转进料PECVD设备
产品特点：
1.该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结更均匀；
2.可左右大角度倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间。
3、广泛应用于电池正负极材料，无强酸碱性粉体材料，颗粒状物料。
| 型号 | LFT 1200C440D60R-CVD |
| **温度 | 1200℃ |
| 工作温度 | 1100℃ |
| 升温速率 | 30℃/min |
| 加热区长度 | 440mm |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 热电偶 | K型 |
| 控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。 |
| 炉管尺寸 | Φ60*420*2+Φ100*360mm |
| 炉管转速 | 3~13r/min |
| 倾斜角度 | 0~35° |
| 密封方式 | 两端法兰+磁流体密封 |
| 加热功率 | 3KW |
| 供电电源 | 220V 50Hz |
| 设备净重 | 约200KG |
| 供气系统 | 100sccm、200sccm、200sccm（量程、流量计数量可选） |
| 真空系统 | 低真空机组，真空度可达1*10-1 |
| （可选配高真空机组） |
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