1600℃多源高温CVD系统

一、设备简介

BTF-1600C-CVD-D2是一台非标定制的多源高温CVD系统。本设备按客户要求加装刚玉管一支，加热炉，循环泵、排风系统、机架等。电气控制采用内置控温仪表，其控温精准且操作直观简便。仪表采用国内**品牌，质量精确可靠。炉管为刚玉管，外径￠60m，长度1000mm。炉管横放固定于炉膛内。左端法兰为进气端，配有压力保护组件和2个进气口，其中一路由截止阀控制，为进混气；另外一路为环硼氮烷，通过电磁阀+单向阀控制；右端法兰为出气端，配有蝶阀控制的压力控制系统和真空泵组成，法兰前端配有搅拌机构，对于尾端沉积物料具有清理作用，同时配有过滤组件。设备进气端液态源蒸发组件制冷制热由循环泵工作，通过循环泵工作，以及管道保温及腔体保温隔绝等方法实现低温、高温下的切换。液态源密封腔室和加热炉密封腔室，均通过PVC管道连接至腔室顶部，通过管道风机与客户排风系统对接。本设备采用承重框架结合钣金包围形式。炉体和门板颜色采用深灰+时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重，更具备操作直观方便、控温精确等性能。

二、技术参数