智能型CVD系统

一、产品特色

这是一款定制可开启式CVD设备。该设备主要开启式加热炉、气路系统、反应管、智能控制系统。

1、开启式加热炉：

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配S型热电偶，单点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

2、气路系统可精确控制3路气体按不同流量进行混合配比，另外单独1路可通强腐蚀气体，配备吹扫气路。

气路管路及阀门，精工件都采用316L材质。

3、反应管组件

反应管组件使用耐高温刚玉管，内加刚玉管堵，两端密封法兰带水冷却系统，反应管尾部带反应物收集冷却装置。实验众产生的尾气经过冷却收集后再通过球阀排出。

4、气体报警系统

配备有氢气报警器，氯气报警器、甲烷报警器。分别设置1个检测点，报警后自动切断氢气、氯气和甲烷的供应，并发出警报。

5、 智能控制系统          

采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。

二、技术参数