小型三温区PECVD设备

这是一款定制组合式PECVD设备。该设备主要由加热炉、射频组件、气路柜组成。

1、开启式加热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，3点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。

2、射频组件

500W射频机组，可以使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效。

3、气路柜组件

可控制多种气体按照不同流量进行混合配比，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头组成，外形美观，操作简便，数据直观可读。