智能型PECVD系统

一、设备组成

这是一款智能型PECVD系统。该设备主要分为四大部分：多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统。

1、开启式加热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，6点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管。

2、气路系统

   可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比，另外单独1路过鼓泡器后进入反应管内。

3、射频组件

    1000W高性能射频辉光均匀，可使整个反应腔体都处于辉光产生区。

4、 智能控制系统          

    采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。

二、技术参数